这里介绍的废气污染源主要来自硅材料处理车间、电池车间。具体来说：硅材料处理车间的酸清洗工艺、酸浸泡工艺、碱腐蚀工艺产生的废气；电池车间腐蚀工艺、天鹅绒制造工艺、扩散工艺和印刷工艺产生的废气。根据废气的类型和性质采用不同的处理方法。由于车间废气主要为酸性气体，主要采用碱液喷涂法和吸附剂吸附法。

废气处理工艺为电池车间腐蚀，羊绒工艺产生的主要废气污染物为NOX和HF气体；硅处理车间酸浸泡工艺的主要废气污染物为NOX。

硅材料处理酸清洗工艺和电池100MW制绒工艺产生的废气污染物为NOX，采用两级喷涂和一级吸附。处理工艺如下:

操作规程

净化系统调整后，应固定调节阀，操作时不得随意更换。当系统连接到多个排气点时，如果某个排气点的工艺设备停止运行，则不应关闭排气罩，以免改变其他排气罩的排放。

在规定的工艺设备和净化设备之间开启和关闭设备。为防止电机启动时过载，特别是对于高温烟气净化系统，可调整总阀开度，减少风量。

操作时应记住操作日志。日志的内容包括换班时间和换班时间、当班时间内的设备运行、各种设备的停车时间及其原因。当设备出现故障时，应详细记录故障的原因、情况和维护的参考意见。

应加强设备的日常维护。日常维护的主要任务是设备、管道、排气罩、清洁孔、观察孔、排灰阀等处的漏气。调整系统的排液量、风量和风压。

每月定期管道及设备内的积尘等沉积物。

设备底池有液位标记，使用前一定要按液位标记注入吸收液。

注意补充吸收液。

使用时，先打开循环泵2~3分钟，再打开鼓风机，停机时先停止鼓风机1~2分钟，再停止循环泵。

每天下午1点，检查塔底水池内液体碱性浓度和排气口净化程度，C通过标准时更换底水池内的吸收液。

设备每半年进行一次检修，检查盘状喷淋管及填料堵塞情况，并进行清洗。

吸附塔

吸附装置：净化器主要由箱体、进气口、吸附段和出口组成。在吸附段填充吸附剂。酸废气从进气口进入箱体，然后通过吸附段净化，净化后的空气从通风机排入大气。应根据具体使用情况定期更换吸附剂。